Core System"CSYS"シリーズは、レーザ走査幅40mmで、広い範囲の微細な高さの変化を測定可能。 他社では小さな範囲のデータ画像を繋ぎ合わせる為、実際の表面形状変化を再現出来ません。
コアシステムは特許技術の「レーザー表面形状検査機」で、半導体ウェハ、 MEMS、ハードディスク、PFD用機能性フィルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」 「パーティクル」「キズの欠陥」を高感度で、速く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像 データ」を表示します。