静電気放電が引き起こす問題と要因
半導体・電子部品製造の現場では、薬液やガスの供給工程において静電気が発生しやすく、ESD（静電気放電）による製品不良や設備トラブルの原因となることがあります。
そのため、供給設備やプロセス装置における適切なESD対策が重要です。

・高流速のN2ガスによる純水パージ
・高流速の低導電性洗浄・剥離用薬液

・薬液供給設備における高流速の低電動性溶剤

・低導電性の薬液
・設置されていないチューブやパイプ
・高流速のN2パージ
・流速は静電気の発生に直接的に影響します。